附錄G 潔凈室氣密性檢測方法 G．1 原 理 G．1．1 保持室內為正壓或負壓均能滿足檢驗要求，但條件允許時，負壓潔凈室宜用正壓檢驗，正壓潔凈室宜用負壓檢驗。 G．1．2 可按以下方法進行檢測： 1 壓力衰減法 使室內達到某一壓力(正壓或負壓)，關閉加壓或抽負壓系統，觀察壓力隨時間衰減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的一半時所用的時間，即為測量室內正壓或負壓的半衰期。 2 恒壓法 使室內達到某一正壓，同時向室內補氣，使室壓達到要求的穩定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內達到某一負壓，使室壓維持要求的穩定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。 G．2 壓力衰減法 G．2．1 測試系統如圖G．2．1所示。 G．2．2 可按以下步驟進...